第107节（2 / 3）

：“开始吧。”

顿了顿，程院长说?：“盛工，你来?吧。”

“唔？”盛明安有点诧异，老实说?程院长无论资历还是辈分都比他高几轮，被长辈喊‘盛工’、谦让，他不太好意思：“您喊我?名字就行。光源系统的研发也有您的一份力，还是您来?。”

程院长摆摆手笑着拒绝：“我?这?辈子扛过不少科学?大工程的验收阶段，不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说?光源系统主要是你一手策划完成，我?只是个半路杀出的辅助，行了别推辞，再推让下去该下班了。”

行吧。盛明安点点头，示意身?后研发团队各就各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说?：“开始验收。准备——”

“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”

“靶材装置确定?装载完毕。”

“电源确定?。”

“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

“……”

接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情?。

“启动二氧化碳脉冲激光器！”

话音一落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。

机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！

盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。

视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外?扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来?越盛、越来?越亮，猛然爆发出闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……

最终击中直径30μ的靶材料（锡液滴）。

视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子，释放等离子体?，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

激光经过多?重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体?。

接下来?是利用收集镜收集等离子体?发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。

但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。

一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……

所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多?次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。

键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。

助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”

杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我?不知道。”

助手姑娘又?没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！

盛明安：“各组报告结果。”

来?了！

众人振奋！

一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2！”

二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”

三组报告：“传感器反馈激光和液滴同?步对准，激光等离子体?在预估范围内捕获！”

四组报告……

随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我?们的科研项目，激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”

“135n！”

原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自?己的耳朵坏了，他们出现?了幻听。