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第98节(3 / 3)

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:“沈先生的团队有没有意向研发arf光刻胶?”

沈问冰一愣:“我们krf光刻胶技术还没突破,一下子大跨步到arf,这……”

光刻胶又名光致抗蚀胶,其作用是提高加工精度、保护硅基材料使其不受腐蚀,技术壁垒也很高,目前全球九成市场被美国和日本独占。

国内厂商只掌握中低端g线和i线光刻胶技术,高端的krf和arf被国外垄断,arf之后还有光刻机进入3n时代的euv光刻胶技术。

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